使用光学的办法来测量光刻胶图形的线宽等几何尺寸的仪器称为散射仪。一款快速监测表面退化的手持式仪器。

μScan散射仪构成

μScan系统由一个手持主机(CU)、一个可更换的测量头和一个独立的充电器组成， 主机控制仪器的所有操作。

μScan散射仪用途

坚固的手持式散射仪提供了一种快速、无损的方式来监测表面粗糙度和光学特性。

它可以用于镜面，各种反光面和精密加工表面。它可以在实验室、现场和制造环境中使用。

一个常见的用途是对难以移动的大型表面(如望远镜反射镜)进行现场监测。

另一种用途是在生产车间对大型制造薄板产品(轧制金属，镀膜玻璃等)进行表面光洁度质量控制检查。结果显示在LCD屏幕上，可以保存和传输 。

μScan散射仪测量

操作人员将测头放在被测物体的表面上并按下按钮，每次测量时间不超过5秒。

通过一次简单测量，用户可以确定在任何照明条件下平面或曲面上的RMS表面粗糙度、反射率和散射光水平(双向反射分布BRDF)。

结果以数字方式显示并存储在系统内存中。软件可用于控制，分析和文件转换。