XPS测试常见问题汇总（一）

       XPS测试即X射线光电子能谱技术，这是一种利用X射线来对样品进行分析的在电子材料与元器件显微分析中的一种先进分析技术。它是对样品表面，微小区域和深度测试的方法，用于判断分子结构和原子价态的信息。本文中铄思百小编就对XPS测试一些常见问题进行分析和解答。

Q：所测窄谱元素，含量比为啥跟预期不符？

1，样品表面被污染

2，样品分布不均匀

3，该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内

4，XPS是半定量分析，和元素的实际含量会有出入

备注：XPS是一种典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，测试得到的仅是样品表面几百甚至几十um大小，几个nm深度的样品信息，不代表样品整体性质

Q：样品中，某元素窄谱曲线不光滑，峰刺较多，或没有测出该元素？

1，元素含量比较低

2，样品分布不均匀，所测试的光斑范围内，该元素含量较少

3，该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内

Q：分峰后，某元素结合能位置不对？

1，确认下数据是否校正（我们给的数据，一般是没有校正的数据）

2，分析下化学环境对该元素峰本身造成的影响，某些化学环境会导致峰有正常的偏移

3，确认下分峰是否正确

Q：元素的结合能测试范围和之前的不同，无法对比？

如果该元素的峰是完整的，可以自行截取至相同结合能范围进行对比，如果不影响分析也可以不进行截取

Q：分峰后，对应价态的峰没有？

1，需要分峰后进行分析，并需确认分峰是否正确

2，全谱的能量很高，如果测不出来，可能是污染碳很高，或者测试深度范围内的含量太少（整体该价态比较高，但是表面很少），一般是后者原因居多

总结

       如果需要了解更多XPS测试相关内容，可以联系铄思百检测！(www.sousepad.com)铄思百检测作为华中地区领先的第三方权威机构，与武汉众多高校及其分析测试中心有交流合作。包括XPS测试在内，XRD测试，扫描电镜，热重分析等测试都有丰富的经验，欢迎联系送样测试！