复享光学MetronLens,全波段“超构透镜光学检测系统”

微纳尺度器件检测 / 光场 + 相位 / 紫外到近红外宽波段
MetronLens 是一套用于原位测量超构表面 (超表面)、超构透镜 (超透镜)、微透镜阵列等新型微纳器件的三维光场分布和相位分布的光学检测系统,采用了宽波段色差校正、消像差等光学设计,在 μm 尺度实现了紫外-近红外透反射测试,并提供了焦距、波相差、泽尼克像差、点扩散函数、调制传递函数、斯特列尔比、数值孔径等关键性能指标的分析。

典型应用领域:
超构表面——扫描微米尺度下的复杂光场,定量、可视化地表征微纳器件在空间上的光场调控能力。
超构透镜——检测光场分布、相位分布、波相差、波前畸变和相关性能指标,有助于优化超构透镜的设计和加工工艺,促进超构透镜产业化进程。
微透镜阵列——测量微米级口径微透镜及微透镜阵列的光场和相位分布,可实现高精度、高稳定性、高UPH的快速检测。
MetronLens 超构透镜光学检测系统 在以上领域的应用得益于如下几个创新点:
1 功能丰富:MetronLens 是一套为超构透镜、超构表面等微纳器件量身设计的综合检测系统,提供了焦距、成像分辨率 (含角向分辨率)、波相差、泽尼克像差、斯特列尔率、数值孔径、点扩散函数 (PSF)、调制传输函数 (MTF)、3D光场分布等 10+ 项主流光学检测中衡量器件光学性质的关键测量指标;
2 微米级采样区域:基于 Olympus 显微平台,配合消除像差的准直及成像光路,实现了 μm 量级超构表面器件的光场检测;
3 反射 + 透射模式:MetronLens 支持透射和反射两种模式,能够轻松实现 0~22 mm 行程的光场扫描;
4 宽波段/多光源:支持 400~1700 nm 的宽谱段数据采集,紫外-可见/近红外谱段之间可以高稳定快速自动切换;支持空间光输入和光纤输入,可同时外接多台激光光源;
5 操作简便:MetronLens 配套的软件集成了实现自动化控制、快速切换、数据呈现、数据导出、数据分析和处理、二次开发等功能;
6 可扩展性强:结合丰富的偏振器件,可实现任意偏振态的激发和检测,以及更多定制化的扩展功能,例如传输相位样品和几何相位样品的检测。