TEM测试原理
透射电镜作为电镜中比较主要的一种类型,今天就跟着铄思百小编来了解一下透射电镜的基本原理吧!
TEM简介
透射电子显微镜(英语:Transmission electron microscope,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像。通常,透射电子显微镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~百万倍,用于观察超微结构,即小于0.2微米、光学显微镜下无法看清的结构,又称“亚显微结构”。
工作原理
透射电镜的总体工作原理是:由电子枪发射出来的电子束,在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜,通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑,照射在样品室内的样品上;透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息,样品内致密处透过的电子量少,稀疏处透过的电子量多;经过物镜的会聚调焦和初级放大后,电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像,最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上;荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。本节将分别对各系统中的主要结构和原理予以介绍。
成像原理与光学显微镜类似,不同点:光学显微镜用可见光作照明束,透射电子显微镜用电子为照明束。光学显微镜中聚焦成像用玻璃透镜,TEM中为磁透镜,电子波长极短,且与物质作用遵从布拉格方程(λ=2dsinθ),产生衍射现象所以TEM具有高分辨率且有结构分析功能。

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