高真空、超高真空和极高真空可以用什么类型的真空泵来获得？

可以用什么类型的真空泵来获得高真空、超高真空和极高真空呢？

通过给主泵配置预抽泵和前级泵，才能切实有效地达到高真空、超高真空和极高真空的水平。

前级泵将压力降低到主泵可以工作的水平，不过，将不同类型的真空泵搭配起来以实现最佳性能并非易事。

没有任何现成的抽气系统可以同时满足所有的应用、可能出现的情况和要求，因为有无数的影响因素需要考量。

选择哪种真空泵（包括前级泵和主泵）取决于很多因素，包括噪音/振动、成本（生产成本和维护成本）、对污染的耐受性、占地面积、抗冲击能力等等。每种类型的真空泵都有其自身的优势和劣势。

主要的前级泵包括：隔膜泵、涡旋泵、多级罗茨泵、螺杆泵。

能够达到高真空、超高真空和极高真空的主泵包括：扩散泵、低温泵、吸气剂离子泵、钛升华泵、非蒸散型吸气泵、涡轮分子泵。

真空泵的分类

动量传输式真空泵（例如涡轮分子泵）具有许多优点：操作简单，维护量少，提供无碳氢化合物的操作环境，不需要再生，在高真空、超高真空和极高真空范围内运行具有高抽速。

涡轮分子泵的缺点包括：具有活动件意味着它们会产生振动和电噪声，对轻气体的抽速较低，对机械冲击/振动敏感，对异物进入敏感。

气体捕集泵（例如吸气剂离子泵）也有一系列优点：由于没有运动件，所以消除了振动和电噪声；捕集泵采用超过108灰度的耐辐射材料制造；如果移除磁铁，可以将烘烤温度升到450℃（长时间的高温烘烤对每一个高真空、超高真空和极高真空系统都至关重要）；捕集泵几乎不需要维护。

不过，与其他类型的真空泵相比，吸气剂离子泵的缺点是对惰性气体的抽气效率低；在高真空、超高真空和极高真空范围内抽气速度下降；需要高电压和磁场；而且泵体较重。

近年来，随着技术的进步，真空泵产品也在逐步“进化”，很大程度上避免或减轻了此前产品的部分缺点。

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