SEM测试样品

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对sem测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

 

制样方法 

 

（1）对于金属和陶瓷块状样品只需要将它们切割成大小合适的尺寸；

 

（2）液体样品，需要将样品滴到硅片或锡箔纸上，待溶剂挥发后进行测试；

 

（3）样品断面的测试，需将样品放入液氮中足够长的时间，然后将样品掰断，选取具有相对平整断面的块体进行测试；

 

通常用导电胶将样品固定如图1所示样品台上，对不确定导电性的样品可通过如图2所示的磁控溅射仪进行喷镀导电层处理，避免样品导电不良造成样品局部电荷积累，使图像质量下降；如果确定样品导电性良好可以直接进行上机测试。样品的喷镀处理常用金（铂金）或碳；膜厚度控制在20 nm左右。

 

图1 SEM用于固定样品的样品台

 

图2 磁控溅射仪

 

样品要求

 

（1）样品必须是无毒，无放射性等危害，保证测试人员安全；

 

（2）样品不能是有机挥发物和含有水分，如果可以去除，事先干燥去除有机挥发物和水分；

 

（3）样品要具有稳定的化学性质和物理性质，保证拍摄时不会发生性质的改变；

 

（4）样品观察面应清洁，无污染物，同时观察面应尽量平整；

 

（5）样品可以为粉末、液体、薄膜、块体。样品量的要求：粉末提供10 mg，液体提供5 ml，块体样品不可过大，建议直径小于3 cm，厚度小于1 cm。

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