SEM测试常见问题汇总（二）

扫描电子显微镜，常见问题及解答

1， 不导电或导电差的样品，为什么要喷金？

SEM成像，是通过检测器获得二次电子和背散射电子的信号。如样品不导电或导电性不好，会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后就反复出现充电放电现象，最终影响电子信号的传递，造成图像扭曲，变形，晃动等现象，喷金后样品表面导电增强，从而避免积电现象。

2， 喷金后，对样品形貌是否有影响？

样品表面喷金后，只是在其表面覆盖几个到十几个金原子层，厚度只有几个纳米到十几个纳米而已，对于看形貌来说，几乎是没有什么影响的。

3， 扫描电镜能谱点扫，线扫和mapping之间的区别？

能谱点扫，线扫和mapping分别是在点范围，线范围，和面范围内获得样品的元素半定量信息，除此之外，线扫和mapping还能分析元素在线或面范围内的分布情况。

它们的意义在于点扫可以测试材料某一位置的元素种类和含量，面扫（mapping）的意义主要在于了解材料元素的区域分布，线扫的意义在于了解材料一条线上各个点的元素含量的变化。

4， 扫描电镜和透射电镜的向似和区别？

制样上：二者对样品共同要求：固体，尽量干燥，尽量没有油污染，外形尺寸符合样品室大小要求。

区别是：TEM：电子的穿透能力很弱，透射电镜往往使用几百千伏的高能量电子束，但依然需要把样品磨制或者离子减薄或者超薄切片到微纳米量级厚度，这是基本要求。

SEM：几乎不要制样，直接观察。大多数非导体需要制作导电膜（例如喷金），绝大多数几分钟的搞定，含水的生物样品需要固定脱水干燥。

成像上：SEM的成像时电子束不穿透样品而是扫描样品表面，TEM成像时电子束穿透样品，SEM的空间分辨率一般在XY-3-6nm，TEM空间分辨率一般可以达到0.1-0.5nm。

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