半导体设备——陶瓷机械手臂

应用背景

应用领域：1.半导体设备 2.机械自动化

陶瓷机械手臂又称末端执行器、陶瓷机械手等,主要在半导体设备中起到输送搬运的作用，它相当于半导体设备这个机器人的手，负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。

由于晶圆硅晶片极其容易受到其他物质的污染，所以一般在真空环境下进行。在此环境下，大部分材料的机械手臂一般难以完成工作，制作机械手臂的材料需要耐高温、耐磨、并且硬度也需要很高。而先进陶瓷材料恰好可以满足这些条件，一般的陶瓷机械手臂主要有三种，一种是氧化铝陶瓷机械手臂，另两种是黑色陶瓷和复合陶瓷机械手臂。这几种陶瓷材料都具备高致密度、高硬度、高耐磨性的物理性质，以及良好的耐热性能、优良的机械强度、高温环境仍具有良好的绝缘性、良好的抗腐蚀性等物理性能，是用于制作半导体设备机械手臂的绝佳材料。

目前东莞市夏阳新材料有限公司生产的陶瓷机械手臂适用于各种高性能要求的半导体设备，其制作的陶瓷产品得到了广大客户的肯定。

氧化铝陶瓷

•密度：3.9g/cm³

•HRA硬度：91

•抗弯强度：370 MPA

•热震稳定：220^T.°C

•介电强度：22KV/MM

黑色陶瓷

•密度：3.15g/cm³

•HRA硬度：93

•抗弯强度：400 MPA

•热震稳定：400<T.°C

•介电强度：OKV/MM

复合陶瓷

•密度：3.2g/cm³

•HRA硬度：92

•抗弯强度：850 MPA

•热震稳定：800^T.°C

•介电强度： 12KV/MM

优点

1.高硬度 2.耐磨损 3.散热快 4.耐酸碱、抗腐蚀能力强，能适应极度恶劣 5.信号干扰少