XPS测试常见问题汇总（二）

Q：所测2个元素的窄谱峰有重合，无法分峰？

       可尝试测其中某一元素其它轨道峰，来避免与另一元素窄谱峰重合。

Q：数据中C、N、O元素含量比实际样品的高，或没有C、N、O但是测出来了？

       1.样品吸附了空气中的污染物导致，在数据处理时，把非样品所含有的污染物的峰先分出来，剔除掉 ，再重新计算含量。

       2.如果对这个要求较严，建议后期样品制备后抽真空密封保存，测试时选择手套箱制样并测试；如果是非粉体样品，可选择刻蚀后测试。

Q：样品不含有这个元素，为什么全谱测出这个元素了（除CNO）？

       1.样品理论上应该不含有，但是样品在处理过程中是有引入该元素的成分，在后续的处理过程没有完 全处理干净.

       2.待测试样品是在某种基底上测试的，但待测试样品量较少，测试到了基底。

       3.被同一批次的其他样品，或者有易挥发组分（如S、F），或者进行刻蚀后，污染了该样品表面。

Q：某元素含量很高大概5%，测出来信噪比很差，而有的元素含量很低0.5%，测出来信噪比反而很好？

       1.不同元素的主峰的灵敏度因子和检测限不一样。

       2.样品分布不均匀。

       3.该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内。

Q：问XPS测试，谱图如何校正、定标？

       一般是以C-C峰284.6ev进行校正的，总谱、分谱是不同的测试方法，所有不是一起校正的，只校正分谱数据，总谱不用校正；价带谱VB是以刚出峰的位置为0进行校正的。

Q：问XPS半定量处理时，元素测试了不同轨道的谱图，定量以哪个为准？

       定量是以元素的特征轨道谱图为准，如果存在多个轨道，切忌重复计算；若不同元素间轨道有重合，一般需要扫一下元素的非特征轨道来计算含量。

总结

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