氦质谱检漏仪：真空检漏技术的发展历程-深圳华尔升

检漏技术的发展

检漏测量技术在真空行业中占有非常重要的地位，与真空设备的各种真空指标有关。如何快速准确地发现检漏与公司的生产效率和运营成本有关。

检漏技术是一种快速发展的技术.多年来，我们创造了许多检漏方法。

20世纪40年代以前的技术非常简单，比如气泡法.水解方法等。当时最大检漏率只能检测到10种。^-7Pa·m^3/s。

之后，经过不断的改进和提高，在20世纪50年代至1960年代，研究人员努力提高敏感度，使敏感度一度达到10^-15Pa·m^3/s。

然而，实践证明，单一追求高灵敏度并不合适，这会给检漏仪的生产带来一些麻烦。之后，我们专注于仪器的稳定性、稳定性、微型化、简单化、检漏过程上面。目前常见的氦质谱检漏仪，敏感度为10^-9~10^-13Pa·m^3/s。先进的检漏仪压力在几万Pa可以测量检漏。携带式检漏检测仪，一人即可运输。甚至有些检漏检测仪已经可以通过手机使用了。APP远程操作检查。

这些技术进步大大提高了检漏检测工作的效率和便利性，氦质谱检漏仪的应用已成为检漏检测技术的重要途径。

氦质谱检漏仪的基本原理和组成

离子源由离子源由离子源由离子源由离子源由离子源由离子源由离子源、分析器.真空系统、电子电路等电气部件组成。

目前氦质谱检漏仪基本为磁偏转型，目前为180°以磁偏转型检漏仪为例。图1是检漏仪的原理图。

在质谱室的离子源N中，气体被水解成离子。在电场的影响下，离子聚焦成束，以一定速度通过间隙S1进入磁分析器，在对称磁场的作用下，具有一定速度的离子束按圆轨运动。偏移半径按以下计算公式计算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R为偏移半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量与电荷质量的比例；U为加速电压（V）。

从上面的公式可以看出，当H和U定值时，对应于不同的M，有不同的R。加速电压U使氦离子束M2只能通过间隙S2、到达收集极K，产生离子流。

使用弱电流测量设备，使其反映在导出仪器和扬声器设备上。而其他的则不同于其他的。M2的离子束(如图所示M1.M3)以不同的偏移半径分离。

深圳华尔升智控技术有限公司是一家具有自主知识产权和持续创新能力，经营业绩稳定增长的高科技公司。公司拥有经验丰富的研究应用技术团队，稳健高效的运营团队和专业的销售队伍，主要成员均有着十多年的氦质谱检漏行业从业经验，有丰富的经验和技术实力。