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君昇PFA管在半导体行业中的超纯水输送应用

2023-09-04 16:53 作者:君昇铁氟龙  | 我要投稿

君昇PFA管在半导体行业中的超纯水输送应用

PFA管在半导体行业中的超纯水输送应用中发挥着不可或缺的作用。其高纯度、耐腐蚀性、高温稳定性、电性能和平滑内表面使其成为处理高度纯净水的理想选择。

超纯水是一种高度纯净的水,通常要求其电阻率超过18兆欧姆·厘米(18.2 MΩ·cm),并且必须去除所有离子、微生物和颗粒杂质。超纯水用于洗涤、刻蚀、光刻、退火等多个工艺步骤,其中即使微小的杂质也可能对晶圆产生负面影响。因此,UPW的制备和输送必须极其严格,这就需要材料具备高纯度和化学惰性。

君昇PFA管在超纯水输送应用中具有多个关键优势:

1、高纯度: 君昇PFA管是一种高纯度的管道材料,具有低提取性,不会将杂质引入水中。这确保了输送过程中不会污染超纯水。

2、耐腐蚀性:君昇PFA管具有出色的耐腐蚀性,能够抵抗多种化学品,包括强酸、强碱和氧化剂。这对于处理各种清洗和蚀刻溶液非常重要。

3、高温稳定性:半导体工艺中存在高温步骤,君昇PFA管能够在广泛的温度范围内工作而不会破裂或变形,确保超纯水的输送在不同工艺条件下保持稳定。

4、电绝缘性能:君昇PFA管具有良好的绝缘性能,不会对超纯水的电阻率产生影响,确保输送的水保持高纯度。

5、平滑内表面:君昇PFA管的内表面非常光滑,不会捕获颗粒或微生物,确保输送的水质保持稳定。


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