《炬丰科技-半导体工艺》磷化铟光子集成电路技术与应用

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：磷化铟光子集成电路技术与应用

编号：JFKJ-21-106

作者：炬丰科技

摘要

光子集成电路平台的摘要，重点是磷化铟。InP PIC 的例子是为自由空间激光通信、激光雷达和微波光子学制造和表征的。讨论了一种用于将 InP 器件与硅光子相结合的新型高性能混合集成技术。

关键词——光子集成电路，磷化铟，硅光子学，氮化硅，混合集成。

简介

光子集成电路技术文章全部详情：壹叁叁伍捌零陆肆叁叁叁在功能和性能方面不断成熟和扩展。尽管硅光子学已获得关注并有望实现低成本和大批量生产，但磷化铟仍然是最受欢迎和最先进的 PIC 平台。此外，目前使用 InP 或砷化镓激光器作为光源，并依赖于外部耦合或异构/混合集成。

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文章主要回顾了 InP PIC 技术并详细描述了一些示例，包括用于自由空间光通信的 PIC 发射器和用于激光雷达的 PIC 收发器。在 InP 激光器和 SiPh 上的 PIC 集成的背景下，还讨论了一种新颖的 3D 混合集成方法。最后，讨论了集成用于毫米波通信和相位阵列的高性能 InP PD 的概念。