光影无限,纳飞光电皮秒激光器助力LED照明
蓝宝石化学成份主要是氧化铝,其独特的晶格结构,使之具有优良的光学性能、物理化学性能、优异的力学性能和良好的热学性能,是LED照明、大规模集成电路SOI和SOS以及超导纳米结构薄膜的理想衬底材料,此外还因其耐磨耐划和透光性好等特点,被用于消费电子产品的屏幕面板和摄像头保护盖板等。
LED衬底是蓝宝石行业最大的下游应用领域,有数据显示,LED衬底在蓝宝石行业下游消费中的占比高达80%。通常情况下,在LED灯的生产制程中,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。
当前,制约蓝宝石大面积量产主要有以下几点原因:蓝宝石的特性一是脆性,LED灯具衬底制作中往往需要对它进行减薄和切割(从400微米减到100微米左右),加工时易碎易崩边;二是硬度高,在自然界中莫氏硬度仅次于金刚石,切割难度大;三是为降低生产成本而提升蓝宝石切割尺寸增加工艺难度,以6英寸和2英寸蓝宝石晶圆为例,其表面积相差9倍,可制作芯片数量相差11倍,可见大表面积的衬底材料将有力降低原材料成本。

对于上述的微米级高精度、大面积切割工艺要求,显然传统刀具切割不能满足要求,其优越的物理化学性质,化学刻蚀也很难达到加工要求。目前在工业生产中,蓝宝石和玻璃一样,尤其适合使用超短脉冲激光进行非直接接触加工,比如纳飞光电生产的工业级皮秒激光器,操作简单,加工速度快,切口质量好,同一批次加工一致性高,还可以对任意形状进行切割。

纳飞光电工业级皮秒激光器光束质量M2<1.3,光斑圆度≥85%,光束发散角(全角)≤1mrad,这些参数保证了该系列激光器输出高品质激光,有助于实现高质量的加工要求。由于激光器发出的激光脉宽短,仅为10ps左右,超快的作用时间使得蓝宝石内部的晶格来不及响应,激光就将能量传递给电子,然后高温的电子在温度梯度作用下,将热量单向传递给低温的晶格,晶格加热时间短,因此材料温度低,热应力小,实现对蓝宝石材料的高精度“冷加工”。此外,经过作业平台集成后,通过调整优化切割速度,角度等相关工艺参数,确定最佳组合,带来蓝宝石的切割面无坡度,边缘光滑,无挂渣,无毛刺。

在稳定性方面,纳飞光电从软硬件多方面调校,使之在稳定性上表现非常两眼,根据测试,其脉冲稳定性和功率稳定性均小于1%RMS,稳定性的优越表现保障了性能的稳定,是实现7*24小时稳定输出的前提,进而提高了工件良品率,以及加工效率,同时降低了成本。


2021年下半年多地电能紧缺,拉闸限电或是错峰用电时有发生,带有节能、环保属性的LED灯具将更有广阔的市场,加之在相关产业政策的推动下,有利于进一步带动蓝宝石材料的需求。纳飞光电工业级皮秒激光器高效地解决了蓝宝石切割难度大和LED灯具对芯片做小和切割道做窄的要求,将大大提升工厂生产效率,有助于以蓝宝石为衬底的LED灯具实现大规模化生产。