QFGD系列双轴超精密气浮运动台

煜熙自动化QFGD系列双轴超精密气浮运动台

产品特点

<< 高稳定性全闭式气浮结构

<< 大理石气浮导轨、刚度大、低摩擦

<< 直驱直线电机驱动

<< 龙门结构，大理石平台刚度大稳定性好

<< 定位精度±0.25μm，重复定位精度±0.1μm

<< 速度稳定性0.05%@200mm/s

<< 速度可达1m/s，最大加速度可达1g

<< 根据需求可定制

背景介绍

随着科研及制造业不断发展，相应的加工检测设备的性能相应提高，我司在运动控制上有着丰富的制造经验，推出了一款大行程的QFGD系列双轴超精密气浮运动台，用于半导体膜厚检测，同时胶厚测量、激光加工、封装检测及其它高端制造业。

定制化设计

我司制造的大行程双轴气浮运动台用于半导体膜厚检测，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。

底轴Y轴用于微动调整步进，微动步距10nm，气浮结构保证了高直线度，上轴X轴搭载检测仪器，高平面度指标保证了理想的切割直线，在200mm/s时速度稳定性0.05%，同时能够实现高动态响应和快速位置整定。各轴行程可定制。

 大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。

精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。

  整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。