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PIEZOCONCEPT纳米定位器Z-STAGE.50型参数简介

2023-08-16 13:31 作者:汉达森--王新宇  | 我要投稿

PIEZOCONCEPT纳米定位器Z-STAGE.50型参数简介

PIEZOCONCEPT是生产纳米平台的行业,主要针对纳米平台与超高分辨率显微镜、光子捕获和原子力显微镜配套使用。PIEZOCONCEPT纳米定位台系列产品的特点就是使用的传感器优于电容传感器,能够获得更强的信号,确保平台高稳定性。同时,我们采用低噪声电子和弯曲设计平台,能够确保亚纳米级本底噪声。


PIEZOCONCEPT纳米定位台系列产品主要应用:

航天航空

显微与成像

医疗技术

纳米技术

数据存储技术

图像处理

测量/检测

生物科学与生命科学

集成光学

激光加工与激光光刻

半导体技术

超精密加工


Z-STAGE系列是一款紧凑型Z型直接驱动纳米定位器,具有高速能力。它可以与具有2×66毫米孔径(LF66 / LFHS2)的2轴纳米定位器结合使用,以获得SPM3或SPM3LR。Z 载物台可提供 5、10、25 或 50μm 的运动范围。


纳米定位器Z-STAGE.50型号参数

活动范围:50μm

分辨率0.05nm

本底噪声:0.005nm

重性 :0.1nm

线性化:0.02

谐振频率:3500Hz

刚度:2.7N/um

材质:铝

尺寸:Φ30x 69,8 mm


原理:纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动,其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统,再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时,可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。


型号:

PIEZOConCEPT HS1H.10

PIEZOConCEPT HS1H.30

PIEZOConCEPT HS1H.50

PIEZOConCEPT HS1H.70

PIEZOConCEPT HS1H.100

PIEZOConCEPT HS1.10

PIEZOConCEPT HS1.30

PIEZOConCEPT HS1.50

PIEZOConCEPT HS1.70

PIEZOConCEPT HS1.100

PIEZOConCEPT Z-STAGE.5

PIEZOConCEPT Z-STAGE.10

PIEZOConCEPT Z-STAGE.25

PIEZOConCEPT Z-STAGE.50

PIEZOConCEPT TT1.5

PIEZOConCEPT TT1.10

PIEZOConCEPT LFHS2.30

PIEZOConCEPT LFHS2.50

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