瑞零科技|半导体AMC污染物监测营造半导体行业的洁净环境

　　半导体AMC污染物监测用于半导体业的洁净环境，指定了4个“标准范围”：酸（MA），碱（MB），冷凝物（MC），杂物（MD）。

　　AMC为Airborne Molecular Contaminants的缩写，从字面意义来看，是初始状态为气相。行为像单一分子的气态污染物，或者说是在环境中有能力沉降于材料表面形成单分子层薄膜的化学污染物，译为“悬浮分子污染物”或“气载分子污染物”。简言之，AMC就是对产品或工艺设备及其流程有不良影响的非粒子状的悬浮化学污染物。

　　国际半导体设备和材料协会在SEMI F21-95，F21-1102中给出了AMC气体的分类体系。该标准适用于半导体业的洁净环境，指定了4个“标准范围”：酸（MA），碱（MB），冷凝物（MC），杂物（MD）。涵盖所有对产品或工艺有危险的AMC，不仅适用于半导体生产，也适用于药品生产。