原理及分类
标题：原理及分类
1按工作原理可分为抽除式泵、捕集式泵
(1)抽除式泵。其原理是通过抽吸系统中的气体，将其排至系统外来获得真空。例如液环泵、旋片泵、滑阀泵、罗茨泵、扩散泵、往复泵等。(2)捕集式泵。其原理是捕集系统中的气体分子，将其直接吸附在泵的工作壁面上而不排出系统。例如吸附泵等。
2.1.1抽除式泵主要包括变容真空泵和动量传输泵(1)变容真空泵，是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气排气，达到抽气目的。可分为往复式及旋转式。往复式泵是利用泵腔内活塞往复运动而将气体吸入、压缩并排出的泵。旋转式泵是利用泵腔内转子的旋转运动将气体吸入、压缩并排出的泵。变容真空泵可分为:油封式泵(主要包括旋片、定片、滑阀、余摆线式等 )、液环泵、罗茨泵等。(2)动量传输泵。是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体分子，气体分子从泵的入口传输到出口。主要包括:@分子真空泵。是在分子流区域内依靠高速运动的刚体表面传递给气体分子动量，使气体分子在刚体表面运动方向上产生定向流动，从而达到抽气目的获得真空的泵。主要有牵引分子泵、涡轮分子泵和两者的组合。@喷射式真空泵。主要包括以下几种:喷射泵。利用文丘里效应的压力降产生的高速射流而把气体输送到出口的一种动量传输泵。可分为液体喷射泵、气体喷射泵、蒸汽喷射泵。扩散泵。以低压油或汞等高速蒸汽流作为工作介质，气体分子扩散到蒸汽射流中，然后被送到出口。它适于在分子流状态，气体分子密度始终很低。扩散喷射泵。是一种由扩散泵与喷射泵的组合。例如油增压泵。@离子传输泵。是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的动量传输泵
相
2捕集式泵主要包括吸附泵(利用表面吸附剂的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵)、吸气剂泵(利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的一种真空泵，吸气剂通常是金属或合金，存在形式是以块状或沉积新鲜道膜形式，比如升华泵)、吸气剂离子泵( 将被电离的气体通过电场、电磁场作用吸附在有吸气材料的表面，以达到抽气目的的泵)、低温泵(利用低温表面捕集气体的泵)。
