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特征尺寸:半导体器件最小尺寸(CMOS表示栅宽即沟道长),一般特征尺寸(沟道长)小、性能高、功耗低,但是过小会导致短沟道效应(MOS关不断(栅压失去控制能力):栅压去掉,源极、漏极之间还存在漏电流),而漏电流存在会导致静态功耗增大,为了降低此效应带来的负面影响需要在器件结构、工艺方面改进。
特征尺寸:半导体器件最小尺寸(CMOS表示栅宽即沟道长),一般特征尺寸(沟道长)小、性能高、功耗低,但是过小会导致短沟道效应(MOS关不断(栅压失去控制能力):栅压去掉,源极、漏极之间还存在漏电流),而漏电流存在会导致静态功耗增大,为了降低此效应带来的负面影响需要在器件结构、工艺方面改进。