真空箱氦检是一种常用的检测手段，主要用于检测真空密封件的泄漏情况。下面是真空箱氦检的步骤和原理：

真空箱氦检步骤：

将待检测的部件放入真空箱内，并将真空箱抽成高真空状态；

在真空箱内注入氦气（He）至一定压力，通常为0.1-1.0 atm，以确保待检部件的外部环境为纯氦气环境；

根据需要，在待检部件的一侧或两侧吸附氦气的探测器，分别称为前置探测器和后置探测器。在前置探测器和后置探测器之间形成氦气的流动路径和负压差；

当待测部位存在氦气泄漏时，泄漏气体从泄漏点进入流动路径，到达前置探测器并被探测器检测到，通常通过信号增强器和音频信号得到泄漏信号，同时在照明室内观察泄漏点位置。

真空箱氦检原理：

真空箱氦检利用了氦气的小分子质量、弥散性和惰性等特点。氦气分子非常小，容易从泄漏处逸出，并与待测部件周围的空气混合。此时，利用真空箱内高真空状态下的负压力，将环绕的混合气体抽走，留下氦气，使得待检部位外部环境为纯氦气环境。在这种状态下，如果待检部位存在泄漏，氦气就会逸出并进入流动路径，被前置探测器和后置探测器依次检测到，形成泄漏信号。通过泄漏信号的强度和照明室内观察泄漏点位置，可以确定泄漏位置和大小。

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