氦质谱检漏仪在真空镀膜设备检漏中的应用-深圳华尔升

真空镀膜设备存有着气密性差的问题，假如镀膜设备维护保养进行后,能做一次气密性试验,就可以规避许多不合格产品的造成,做到节省成本费用的效果。

真空镀膜设备的检漏方法有很多种，其中最有效的就是氦质谱检漏仪检测。

氦质谱检漏是真空镀膜机真空检漏技术里不可缺少的一种技术，因为其检漏效率高，简单易使用，仪器设备反映灵敏，精度高，不容易受别的气体的影响，在检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理，用氦气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、解析器、回收器、冷阴极水解规构成的质谱分析室和吸气系统及电气一部分等构成。质谱分析室里的钨丝发送出去的电子，在房间内不停地震荡，并与房间内空气和经漏孔进入到屋内的氦气互相撞击使其水解成共价键，这种氦离子在加快静电场的作用下进入到磁场，因为洛伦兹力作用产生偏转，产生圆弧状轨道，更改加速电压可使不一样品质的离子通过磁场和接受缝抵达接收极而被检验。

其中喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中最经常使用的两种方式。

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