蔡司双束电镜Crossbeam系列LaserFIB工作流程

加装飞秒激光系统的蔡司双束电镜Crossbeam Laser工作流程，LaserFIB工作流程助力您实现高分辨率成像和高通量分析。

一、自动导航到样品的感兴趣区域(ROI)

无需耗时搜索感兴趣区域(ROI)即可开始工作流程

使用交换舱内的导航摄像头定位样本

集成的用户界面可以轻松导航到您的感兴趣区域 (ROI)

让您受益于SEM的大型、无失真视场

二、自动样品制备(ASP)可从大块样品中制备薄片

通过简单的三步流程开始制备

定义配方，包括漂移校正、沉积以及粗磨和细磨

FIB镜筒的离子光学器件可实现高通量工作流程

复制配方并根据要求重复操作，以开始批量制备

三、加工大量材料

绘制您的激光图案

曝光您的激光图案

以优于2um的目标精度快速去除大量材料

四、将样品传送到双束电镜主舱室，让您的双束电镜继续工作

已经能够观察到微结构细节

根据高分辨率成像的需要执行FIB抛光

使用新颖的工作流程创建TEM和原子探针样品

通过即时SEM反馈，快速优化激光方案