氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。那么为什么检测气体需要使用氦气呢？今天小编给大家解答这个问题：

(1)氦气对人体和自然环境没有毒害；

(2)氦气不能燃烧，作业安全；

(3)氦气是惰性气体，和被检测对象不会发生化学反应；

(4)氦气的分子直径和质量小，容易穿过微小缝隙，便于检漏；

(5)氦气通常环境下保持气体状态，不会堵住微漏孔；

(6)真空腔体自身放出的气体中几乎不包含氦气；

(7)氦气在空气中的存在量仅为5ppm，容易定点查清漏气位置。

由于氦气比空气轻很多，向真空腔体喷氦气检漏时要从上往下依次操作，否则不利于判定漏点所在。当腔体构造复杂，或漏率极小时，可针对重点部位用塑料袋套住，然后向塑料袋内部充入氦气，实现对特定重点部位的检漏。

示踪气体直接决定气体分析仪的种类及实验中释放气体所需费用，示踪气体的选择非常重要。根据示踪气体测量技术的使用场所和使用特点。

示踪气体种类有以下几种：

1. 氢气（H2）

2. 氦3（氦气同位素气体)

3. 氦4（He4 ）

目前, 全世界绝大部分检漏仪的示踪气体采用的是氦气。

一般检漏都用氦气（He）作为示踪气体, 也有用氢气（H2）作为示踪气体的. 氢和氦都是比较理想的示踪气体: 空气中的含量少, 质量轻, 运动速度快, 同等条件下, 直线运动距离长. 实际使用中, 也相对比较容易获取, 可以大量使用. 但氢气在使用中有一定的安全问题（存在爆炸风险），所以实际大部分检漏使用的是氦气.

氦质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体, 主要原因如下

1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.

2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.

3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.

4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度.

5. 氦在被检件及真空系统中不易被吸附, 这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏, 提高了仪器的检漏效率.

那么以上就是关于氦质谱检漏仪的示踪气体为什么用氦气的解答，希望对大家有所帮助~

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