电子超纯水设备

超纯水在以电路板为主的电子元器件生产中的作用越来越重要，超纯水的质量已成为影响电路板、电子元器件产品质量、生产产量和生产成本的重要因素之一。在电子元器件的生产中，超纯水主要用于清洗水和用于配制各种溶液、浆液，不同的电子元器件在生产中对纯水和水质的要求是不同的。

　　在晶体管和集成电路的生产中，超纯水主要用于清洗硅片，少量用于制备药液、硅氧化的水蒸气源、一些设备的冷却水、制备电镀液等。集成电路生产中80%的工序都需要用高纯水来清洗硅片，水质的好坏与集成电路产品的质量和生产量有很大关系。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜产生耐压，重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结电压降低，III族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特性变差，V族元素(P、As、Sb等)会使P型半导体特性变差。会使P型半导体特性变坏，水中的细菌经过高温碳化后的磷（约占灰分的20-50%）会使P型硅片的局部区域变成N型硅而导致器件性能变坏，水中的微粒（包括细菌）如吸附在硅片表面，就会造成电路短路或特性变差。

　　电子超水设备是为了保证电子产品的质量安全，促进电子行业的健康运行，电子超纯水设备用于集成电路生产中高纯水清洗硅片、半导体材料、晶圆材料的生产、加工。