SEM扫描电镜各参数都代表什么

SEM扫描电镜各参数都代表什么意思，在做测试时我们又该如何选择？
1， 加速电压
一般，加速电压越高，图像分辨率越高，当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压，这时电子束能量大，对样品穿透深，材料衬度减小，图像分辨率提高。但加速电压过高，电子束对样品的穿透能力过大，样品表面信息缺失。
低加速电压时，电子束能量低，因此图像畸变和样品的损伤小，同时荷电现象减少，因此在表征导电性差的试样方面有一定优势。
因此，根据自己的要求灵活地选择加速电压，才能得到理想的电镜图像。当需要观测样品的表面信息、样品的导电性较差、样品的热稳定性较差时，需要选择较低的，甚至是超低的加速电压。当需要得到分辨率高的图像、样品表面存在有机污染或是样品内部的相组成信息时，需要选择较高的加速电压。
2，工作距离
工作距离(WD）是物镜下极靴到样品表面的距离。工作距离增大时，样品上的束斑变大，分辨率下降，但孔径角减小，景深增加。同时，较大的工作距离可以实现极小倍数成像，放大倍数能够达到几十倍。通常工作距离可在2-45mm范围内选用。观察高分辨图像时可选用小于5mm的工作距离，配合Inlens 探测器;而观察粗糙断口表面或较大的植物样品时可以选用10mm 以上的工作距离，以获得较大的景深。
3，探测器种类
        SE2和Inlens都是二次电子探测器，用于样品形貌检测。ASB探测器是背散射电子探测器，用于元素衬度成像。
4， 放大倍数和标尺
扫描电镜放大倍数:体现线圈磁场变化控制电子束扫描区域大小的能力范围，是图像显示尺寸和电子束在样品扫描区域尺寸的线性比值，以M表示，如果样品上长度为L直线上的信息，在显像管上成像在L。长度上，则放大倍数为:
M=Lc/Ls
       现在的扫描电镜几乎全部用数码相机照相。每个厂家对放大倍数的定义均不相同。每个仪器上也会有很多放大倍数显示方法，对于不同仪器，相同放大倍数下看到的区域不一定一样大。此时需要看标尺，所有仪器上的标尺长度是一致的。

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