真空系统中不同作用的泵

1.主泵对被抽容器直接进行抽真空以获得满足工艺要求所需真空度的真泵。

2.粗抽泵：从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

3.前级泵：用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。

4.维持泵：当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

5.增压泵：工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气要求的真空泵。

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