四探针测试仪测量电阻率

01.基本介绍

 

电阻率测试是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很多，如三探针法、电容---电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法，在半导体工艺中最为常用。其主要优点在于设备简单，操作方便，精确度高，对样品的几何尺寸无严格要求。四探针法除了用来测量半导体材料的电阻率以外，在半导体器件生产中广泛使用四探针法来测量扩散层薄层电阻，以判断扩散层质量是否符合设计要求。

 

02.四探针发展历史

 

1865 年 首次提出四探针测试原理 汤姆森 ;

 

1920 年 第一次实际应用，测量地球电阻率 Schlunberger ;

 

1954 年 第一次用于半导体电阻率测试 Valdes;

 

1980 年代 具有Mapping 技术的四点探针出现;

 

1999 年 开发出首台微观四点探针 Pertersen。

 

03.四探针测试原理图

 

最为常用的测试方法为直线(常规)四探针法和双电测四探针法。

ST2258C多功能数字式四探针测试仪(常规四探针法选用)

 

ST2263双电测数字式四探针测试仪(双电测法选用)

 

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