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台积电:EUV光刻机安装数量占行业一半,拥有60%的EUV晶圆累计产量

2020-08-30 22:29 作者:xqjxqj  | 我要投稿

近日,台积电举行了年度技术研讨会,在会上透露了关于未来芯片制造业务的相关信息。

根据台积电官方公布的信息,台积电现在占据了业界EUV(极紫外光)设备安装量的50%。除了业界EUV设备安装量以外,台积电还拥有约60%的EUV晶圆累计产量。

台积电官方表示,全新的N7+制程是该公司第一个利用EUV光刻技术的节点,并且N5制程将更加倾向于使用EUV光刻技术。另外,5nm以后的任何产品都将广泛采用EUV光刻技术。


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