氦质谱检漏的检漏盒法以及真空室累积法是怎样的？-深圳华尔升
今天，小编给大家介绍氦质谱检漏的两种常见的方法，即检漏盒法以及真空室累积法，一起来了解一下吧。
1、检漏盒法
通过管道与质谱检漏仪连接能与被检件表面良好匹配的特殊检漏箱，将检漏箱扣在被检件表面并密封（一般用真空泥密封）。检漏时，打开辅助阀，用辅助泵抽空检漏箱。然后关闭辅助阀，打开检漏仪的检漏阀，将检漏盒与检漏仪的质谱室连接起来。当质谱室达到工作压力时，调整仪器，使仪器处于检漏状态。用喷枪在检漏扣的被检件对面喷射氦气（也可使用局部氦气盖施加氦气）。如果仪器输出指示发生变化，则喷枪喷射部分会有漏孔。通过标准漏孔比较法，可以通过输出指示的变化值来确定漏孔率的大小。该方法特别适用于在加工过程中检测未密封被检件上的焊缝。
2、真空室累积法
采用动态真空法进行泄漏检测时，通过漏孔泄漏到检漏系统中的氦气部分被泵抽走，部分在检漏系统的每个截面上建立氦分压。当达到动态平衡时，质谱室内建立的氦分压为pHe=QHe/SHe式中pHe是质谱室内建立的氦分压漏孔；QHe是氦漏孔漏率；SHe表示质谱室对氦的抽速。
当QHe很小时，pHe就很小，仪器通常没有反应。为了提高质谱室内的氦分压，可以使用阀门（累积阀）将被检件与检漏仪隔离。漏孔中泄漏的氦存储在被检件与累积阀之间的体积（累积体积）中，累积体积中的氦分离压力将随着时间的增加而直线上升。累积一段时间后，打开累积阀，累积的氦将迅速泵入检漏仪，使质谱室的氦分压急剧上升，从而获得较大的输出指示，这是真空室累积法。
那么以上就是检漏盒法以及真空室累积法的相关内容，希望对大家有所帮助，需要氦质谱检漏仪的朋友，欢迎前来咨询。
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