随着科技进步, 应用于航天相关的电子元器件泄漏检测已逐步成为生产检测的重要环节之一, 电子元器件中目前应用检漏技术的主要为密封继电器, 微型密封高可靠极化继电器要求漏率小于 1×10-9 Pa m3／s.

利用氦质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定, 针对不同的产品, 需要选择适当的检漏方法

推荐选择前级泵为干泵的检漏仪, 保证清洁无油, 避免对元器件造成污染

继电器检漏方法: 采用检漏仪的背压法检漏, 背压法检漏适用于小型全密封工件, 测试密封继电器的整体漏率

继电器的背压检漏法分为以下三个步骤

1. 加氦压: 将被检继电器放入充氦的压力罐中; 按照 GJB 360A-96 规定计算内腔体积, 选择适当的加压压力和加压时间, 若继电器有漏, 则高压氦气被压入继电器内腔.

2. 净化: 从压力罐中取出继电器, 用氮气流或空气流吹净继电器表面吸附的氦气.

3. 检漏: 将继电器放人连接检漏仪的腔体中进行检测 (之前已设置好漏率值等), 若继电器有漏, 压入内腔的氦气会进入检漏仪, 仪器上会有漏率显示. 如果检漏腔较大, 可以加配前级泵, 用于辅助抽真空. 减少检漏时间.

氦质谱检漏仪中明确规定，选择的加压压力、加压时间和较长的停留时间，应使被检样品的规定泄漏率大于检漏仪较小的可检测泄漏率。因为当漏孔太大时，施加氦气压力时压入的氦气在检漏前是在真空状态下被抽出来的，所以检测不到氦。可以用氟油法进行粗检漏，以确定是否有较大的漏孔。

继电器背压法检漏的漏率计算

在背压法检漏中，继电器的真实漏率称为等效标准漏率，以L 表示;从检漏仪上直读出的漏率称为测量漏率，以R 表示。由于加压的压力、加压时间、继电器内腔体积、侯检时间不一样，同一漏孔的测量漏率R1也会不一样。R1与L 之间有如下的关系:

R1=2.68LpE/p0 ·[1 - ( e- 2. 68L t1 /Vp0 ) ]·e- 2. 68L t2 /Vp0(1)

式中， R1为测量漏率， Pa·m3 / s; L 为等效标准漏率，Pa·m3 / s; pE为加压压力， Pa; p0为大气压力， 101. 33×103 Pa; V 为工件内腔容积，m3 ; t1为加压时间， s; t2为侯检时间， s。

从公式(1)中我们可以看出从检漏仪上直读出的漏率R1不是继电器的真实漏率，要想得到继电器的真实漏率L ，必须按照公式(1)进行计算。我们应以L 的大小作为判定继电器密封性能合格与否的依据。

继电器氦质谱检漏的相关建议

在继电器的漏率检测中，检漏环境一般选择温度20℃、相对湿度65%、大气压力101 325 Pa的条件下进行。

检漏仪的相关技术指标必须满足继电器的检漏要求，在此前提下，应尽可能选用最小可检漏率较小的检漏仪。检漏仪的标准漏孔要定期检测，确保在有效期内，否则会对公式(1)中的R1造成较大影响。

在背压法检漏中由于加压的压力、加压时间、继电器内腔容积、侯检时间都会对检测结果造成影响，所以必须保证以上参数的准确可靠。在背压法检漏的净化过程中，要确保继电器表面的清洁，要用氮气流或空气流吹净继电器表面吸附的氦气，否则也会对公式(1)中的R1造成较大影响。

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