传力BSS-500Kg传感器

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市场需求摆在这里，产业链就有足够的动力，而现有的国产替代的产业集群也正在起来。包括科技公司，还有科研院所，高等院校，知识产权方面的专业机构等等。

从国内产业链公司方面，做光刻机核心组件的公司已经基本成型，做光源系统，做物镜系统的，做曝光光学系统的，做双工作台的，做浸没系统的以及包括光刻胶，光刻气体，光掩模版，光刻机缺陷检测设备，涂胶显影设备等，都有相关的公司与产业分布。

而根据新华网报道，国内多家A股上市公司已经进入到光刻机全球产业链各环节之中，包括光刻机光源系统厂商福晶科技，物镜系统厂商奥普光电，涂胶显影厂商芯源微、富创精密，光掩膜版厂商清溢光电、华润微，缺陷检测厂商精测电子，光刻胶厂商南大光电、容大感光，光刻气体厂商雅克科技、华特气体等。