热场发射扫描电镜与冷场扫描电镜介绍

蔡司代理三本精密仪器小编介绍场发射扫描电镜分热场和冷场,共性是分辨率高。热场的束流大些,适合进行分析,但维护成本相对较高,维护要求高。冷场做表面形貌观测是适合的,相对而言维护成本低些,维护要求不算高。

冷场发射电子枪

优点:单色性好,分辨率高

缺点:电子枪束流不稳定,束流小,不适合做能谱分析,每天要做一次Flash

热场发射电子枪

优点:电子束稳定,束流大

缺点:与冷场相比除了单色性和分辨率略差点外,其它找不出缺点。

电子枪发射的电流强度很小,微安级别和纳安级别,为防止气体电离造成的大电流击缟压电源,都需要高真空环境。电子枪阴极都属于耗材系列。

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