书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：光学微机电系统

编号：JFKJ-21-352

作者：炬丰科技

 

设计

.两级 结构

.悬浮在衬底上的上氮化硅板提供了高度的 隔热

.薄电阻元件位于氮化硅上，具有较大的电阻温度系数 (TCR)

.该填充因子 – 敏感元素覆盖的区域作为整个像素区域的一部分  

 

.必须接近 团结

.氮化硅板和它正下方的薄反射金属形成一个 四分之一波谐振腔 增加红外线 吸收

光栅光阀显示

.赛普拉斯半导体硅光机

.依靠悬挂在基板上的紧密排列的平行反射带行

.相位光栅，将入射光衍射成更高阶

.的角度 衍射 取决于 波长 和音高 - 或 周期性

.丝带的

 

 

 

 

数字 M × N 光开关

.光开关将入射光信号重定向到许多输出光纤之一

.通过改变交叉光纤系统中的光路，光开关阵列允许在数据通信中快速重新配置光网络

.M × N 开关是具有 M 个输入和 N 个输出光纤的二维阵列

 

 

 

自由空间微型光学平台

.采用微加工技术，可将光学系统小型化并批量制造在硅基板上

.光学元件可以在平移或旋转平台上整体制造

 

 

衍射微透镜

.焦距可以通过光刻精确定义

.可以定义具有广泛数值孔径 (F/0.3–F/5) 的微透镜

.可以制造直径小至几十微米的微透镜

.厚度约为光波长

 

 

 

折射微透镜

.焦距与光波长无关（除了由于透镜材料的色散而产生的弱依赖性）

.不受衍射损耗的影响

.更容易制造 (i) 没有严格的临界尺寸控制的快速折射微透镜和 (ii) 低成本