一、目的

氦质谱检漏仪按国家有关标准制造，考虑到工厂的实际条件及可行性，以及仪器的各项检测性能完好，符合产品检测要求，特制定本规范。

二、范围

本规程适用于本公司使用中和修理后的氦质谱检漏仪的校准。

三、引用标准

生产商提供的技术文件。

四、校准条件

校准氦质谱检漏仪的标准漏孔，应是由有关专业机构校准过的并有校准证明的渗氦型标准漏孔，漏率范围在109Pa·m3s数量级。

五.校准程序

5.1外观

仪器整机应完整，表面应清洁，不应有影响正常工作的破损现象，仪器内机械泵油位在正常工作范围内，肉眼观察油质无明显变化。

5.2通电后性能

面板开关，按钮性能接触良好，内部无短路。机械泵和祸流分子泵运转正常，无异常响声。仪器通电启动后，各项真空指示正常，能在规定时间内达到仪器正常工作所需的真空度。

5.3最小可检灵敏度

开机后仪器各项指示，性能正常，仪器内质谱室真空度达到能开启质谱灯丝的水平，打开仪器内校准漏孔，仪器的最小可检灵敏度应优于1×10-10Pa·ms。

5.4响应时间

打开校准漏孔后，到仪器指示值到达仪器指示最大值的63%所需时间，即为响应时间，响应时间应≤3s。

5.5清除时间

关闭校准漏孔后，到仪器指示值达到仪器最大指示值的37%所需时间，即为清除时间，清除时间应≤3s。

六、校准结果

处理如校准合格，则贴上准用标签；如保养不合格，修复后进行校准；则贴上停用标签。合格贴合格证，不合格提出申请报废意见。

七、校准周期

校准周期为一年。

有关于"氦质谱检漏仪漏率怎么校准？"，在之前的文章中已经介绍过，这里不再赘述，有兴趣的朋友可以自行查阅。

输入错误的内置漏孔漏率值，检漏仪自检时一般也能通过；说明检漏仪是对比性测试设备，检漏仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少，必须要有参照物-标注漏孔来确定。

任何氦质谱检漏仪准不准，检测标准是对标准漏孔读值准不准，无其他标准。

事实上，经常出现检漏仪自检通过其他量程误差很大，甚至几个量级的都有。我们甚至发现有检漏仪，某几个量级准确了，另几个量级不准的情况，反之亦然。有兴趣的可以观看我们的视频。

正确的方法是针对产品的漏率要求，用接近的外置校准漏孔标定检漏仪。

安徽诺益科技生产的氦质谱检漏仪凭借卓越的品质及稳定的性能已广泛应用在众多行业上，满足各种应用. 更多氦检技术，欢迎关注我们！