氦质谱检漏仪厂家:为什么用氦气作为氦质谱检漏气体?-深圳华尔升
氦气泄漏检测仪通常被称为氦质谱泄漏检测仪,由质谱原理制成的仪器被称为质谱仪或质谱仪。质谱仪通过其关键部件质谱室,使不同质量气体进入离子,在一定场地运动后,不同质量荷比的离子在场地分离,相同质量荷比的离子在场地聚集,如果接收器在适当位置接收所有这些离子,将根据质量荷比的大小分离质谱图,即质谱。
用于测漏的质谱仪称为质谱检漏仪。所有测量气体分压的质谱仪,如四极质谱仪.射频质谱计.飞行时间质谱计.旋转质谱等可用于测漏。
专门定制的以氦为示踪气体进行泄漏检测的质谱仪称为氦质谱检测仪。该仪器不仅灵敏度高,而且适应性广.定位定量准确.无毒.安全.反应速度快等优点。在氦质谱检漏仪中使用最多的是90种°和180°磁偏转型质谱仪。

氦质谱检漏仪系统中的质谱检漏仪一般选用氦作示踪气体,主要原因如下:
1.氦空气中和真空系统中残留的气体含量很少(空气中约5.2ppm),在材料出气中也很少,所以底部压力小,输出底部电流也很小。由于底部小,由于某些原因导致底部起伏,即底部噪声小,可反映细微泄漏率,灵敏度高。
2.氦的质量很小(相对分子质量为4),很容易通过漏孔。这样,氦比氢以外的其他气体通过同一漏孔的泄漏率更大,容易发现,灵敏度更高。
3.氦是一种稀有气体,不会与被检件器壁发生化学变化,不会污染被检件,使用安全。
4.氦两侧为氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比与氦相差较大。这样,它们在分析器中的偏移半径也大不相同,容易分离。在寻找氦峰时,不易受到其他离子的影响,因此降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,还可以增加分析器出口电极与离子源加速极之间的间隙,使更多的氦离子通过,提高仪器的灵敏度。
5.氦在检测件和真空系统中不易吸附。这样,检测漏孔可以使氦信号迅速消失,从而继续检测泄漏,提高设备的检测效率。
6.氢气的某些性能(如小质量).容易通过漏孔)比氦好。但是,由于氢一方面有爆炸的危险,另一方面在油扩散泵中,由于油的热裂解会产生大量的碳和氢,氢的底部极高,波动较大,灵敏度大大降低,所以很少选择。
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