石英材料在半导体领域的应用

东海鸿志分享了石英材料在半导体领域的应用

石英用于半导体制造过程中纯度高的许多不同领域。前端半导体工艺通常是石英产品的大客户，其中常见的“晶片”由硅制成，经过一系列工艺步骤，最终形成数百万个称为微芯片的电路。许多这些工艺步骤需要在晶片表面上的高温下精确控制气体反应。石英部件通常用于确保保持高纯度，同时能够承受高温下的高压/真空，同时不会与晶圆本身发生反应或引入会导致后续电路故障的颗粒。

石英材料是半导体生产过程中的重要材料，其质量、加工精度直接影响半导体产品的成品率。在半导体生产过程中，石英材料典型的应用有：石英坩埚用于硅单晶制造、石英玻璃钟罩用于光刻工程、石英管制作的石英舟和石英支架用于IC外延、扩散和光刻工程等。