01 什么是膜片型干泵？

隔膜真空泵是一种利用隔膜的往复运动进行排气的真空泵。

膜片型干泵是不使用油或液体的机械真空泵，非常适用于需要清洁环境且不受油蒸气污染的应用。

随着近来半导体制造业和电子设备工业的快速发展，对隔膜真空泵的需求也在增加。

例如，IC的晶圆吸附装置、真空拉链、薄膜吸附、自动机械、包装机械、光学机械、真空镊子、医疗用机械、印刷机械等用途广泛。

隔膜式真空泵的外观如图所示。通过安装在固定于偏心旋转轴上的隔膜(膜片)的移动来输送气体，隔膜的可移动量有限，因此较小容量的较多。

 02 膜片型干泵的应用领域

真空排气，真空浓缩，过滤，脱气脱气，真空吸盘，薄膜吸附，包装机械，光学机械，真空镊子，医疗机械，印刷机械等。

 03 膜片型干泵的特征

不适用油和液体的清洁真空

膜片型干泵是不使用油或液体的机械真空泵，非常适用于需要清洁环境且不受油蒸气污染的应用。

价格低廉，销售量高的标准型干式真空泵。

气体接触区域不使用油的干式真空泵。

两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力（良好的真空）。

大气压力下可运作。

结构简单，维护方便。

优点：由于不使用油，可以清洁排气。

缺点：无法获得高真空。

膜片的弹性变形能力有限，因此只能实现相对较低的抽速。鉴于这种抽气原理，泵内存在一个被称为“死区”的容积——此处的气体无法被移至排气管路。

在随后的抽气过程中，这些留在泵内的气体会膨胀进入并填充正在膨胀的泵室，因此，随着进气压力降低，流入的新气体量越来越少。

由此，这会导致容积效率持续降低。膜片真空泵所能达到的压缩比最高只能是“死区”和泵室最大容积的比值。

对于单级膜片真空泵，可达到的最终压力约为 80 mbar。两级泵可达到约 10 mbar，三级泵可达到约 2 mbar，四级膜片泵可达到约 5 ·10-1 mbar。 

 04 膜片型干泵的结构

【清洁构造的气体输送】

当偏心轴（转子）旋转时，动力通过连杆传递到隔膜。

当隔膜反复上下运动时，气体从进气口输送到排气口，实现清洁排气。

另外，每个口都装有阀门,可以一直向同一方向输送空气。

 05 使用上的注意

1.　如果在负荷运作期间停止泵，然后立即重新启动，则可能无法重新启动。在这种情况下，请将泵内部恢复到大气压。

2.　请不要吸入腐蚀性气体，有机溶剂，液体和可冷凝气体（如水蒸气）。另外，确保灰尘和污垢不会进入泵内。

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