真空计校准方法详解

一、校准准备工作

在进行真空计的校准之前，需要确保校准器量程及精度与需要校准的真空计相匹配。同时应保证真空计清洁干净，确保不会造成误差。准备好真空泵及真空泵控制器，以保证真空度的稳定。对于不同类型的真空计，需要选择不同的校准装置和工具。

二、校准方法

1. 旋转式真空计校准方法：

（1）将需要校准的真空计与校准器连接，打开校准器气路，然后打开电源供应。

（2）使真空计的读数与校准器相等，阀门关闭，记录真空计的读数。

（3）重复（2）这个步骤，使真空计的读数在 1×10^-3 Torr 到 1×10^-6 Torr 之间，记录每一个读数。

（4）将校准器的输出与真空计的真空状况进行比较，如有误差，调整校准器直到误差最小或接近于零。

2. 热离子真空计校准方法：

（1）打开真空系统，并调整至预设的气体压力和温度。

（2）使真空计的读数与校准器相等，阀门关闭，记录真空计的读数。

（3）使真空计的读数在 1×10^-3 Torr 到 1×10^-9 Torr 之间，记录每一个读数。

（4）将校准器的输出与真空计的真空状况进行比较，如有误差，调整校准器直到误差最小或接近于零。

3. 冷阴极真空计校准方法：

（1）打开正常真空环境。

（2）使真空计的读数与校准器相等，阀门关闭，记录真空计的读数。

（3）使真空计的读数在 1×10^-6 Torr 到 1×10^-9 Torr 之间，记录每一个读数。

（4）将校准器的输出与真空计的真空状况进行比较，如有误差，调整校准器直到误差最小或接近于零。

三、注意事项

1. 对于旋转式真空计、热离子真空计和冷阴极真空计，校准前均需检查对应的气体校准曲线是否正确，以确保校准数据的准确性。

2. 校准器使用过程中需保持稳定，避免震动或受潮的情况，造成误差。

3. 记录下每个读数时，必须保持机器稳定，避免误操作。

4. 在进行校准时，真空计和校准器之间的连接必须严密，以保证精度和稳定性。

5. 对真空计的校准要定期进行，以确保实验或工作的精度和结果可靠性。

本文针对不同类型真空计给出了相应的校准方法及注意事项，希望对使用真空计的人员有所帮助和指导。在实验或工作中，准确可靠的真空计对于结果的正确性和评估的准确性至关重要，因此需要按规范的方法进行校准，以确保精度和稳定性。