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【附回看链接】圆满落幕 | 金刚石器件&超精密加工——碳“链”全球:一场公益的碳材料

2023-01-12 13:37 作者:国际碳材料大会  | 我要投稿


碳链全球,云端相约。一年一度的Carbonweek碳“链”全球:一场公益的碳材料大会,共60多场主题报告,精彩持续进行中。


2023年1月10日,金刚石材料与器件&超精密加工论坛圆满落幕。
金刚石作为材料之王,其优异性质不断被发掘,从传统的超硬性质到超宽禁带半导体,工业跨度范围极大。中国在高精尖领域,卡脖子技术究竟如何解决?金刚石在解决卡脖子工程中究竟充当着什么角色?传统金刚石行业如何打破常规产业发展现状,技术突破,跨度提升,具有核心竞争力?CarbonWeek 2023坚持产学研结合,从解决产业需求出发,结合最前沿科研走向,克服高精尖难题,探索金刚石应用的无限可能!
论坛特邀湖南大学、无锡半导体先进制造中心主任,尹韶辉教授、河南工业大学材料科学与工程学院副院长,栗正新教授、上海交通大学,孙方宏教授、香港大学,陆洋教授、大阪公立大学,梁剑波副教授、武汉大学,袁超研究员、河北工业大学,白振旭教授、中国电子科技集团公司第五十五研究所,郭怀新高级工程师、北京科技大学,刘金龙副教授、南京邮电大学杜关祥教授团队优秀代表,王金旭,共10位重要嘉宾,从不同角度分享行业最新进展与团队最新工作。


论坛精彩回顾 
 主题一:金刚石材料与器件 

金刚石被誉为"终极半导体",不仅仅作为半导体材料,在半导体封装散热、激光应用、抛光等超精密加工领域同样至关重要!1月10日上午,论坛围绕"金刚石器件和功能应用"为主题,开展产学研报告分享。


梁剑波,大阪公立大学副教授报告题目:金刚石与异种材料室温直接键合

袁 超,武汉大学研究员

报告题目:热反射检测技术在金刚石集成器件领域的应用进展

白振旭,河北工业大学教授报告题目:金刚石布里渊激光器——突破高相干激光功率极限的新手段

郭怀新,中国电子科技集团公司第五十五研究所高级工程师报告题目:基于金刚石材料的GaN功率器件热管理技术分析

刘金龙,北京科技大学副教授报告题目:高质量金刚石半导体制备与电子学性能研究

代讲人:王金旭,南京青柚量子有限公司(南京邮电大学杜关祥教授团队)报告题目:基于量子传感的晶圆级电磁兼容测试技术 主题二:超精密加工 

在高端装备、超精密加工领域,金刚石材料不可或缺!

尹韶辉,湖南大学教授、无锡半导体先进制造中心主任报告题目:应用金刚石微粉砂轮的超精密磨粒加工技术

栗正新,河南工业大学教授、材料科与工程学院副院长报告题目:高速高精超硬材料磨削工具关键技术研究

陆 洋,香港大学教授报告题目:金刚石的纳米力学及弹性应变工程


孙方宏,上海交通大学教授报告题目:微波CVD金刚石工具的制备与应用 Q&A Part 论坛期间,与会人员在线与各位专家进行提问交流,从半导体器件应用、导热散热测试、高功率器件应用、量子精密测量、超硬材料行业的发展与挑战、超精密加工行业应用现状和前景以及超硬工具等方面进行探讨。

问题集锦

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问题一:

目前金刚石应用在GaN器件中主要通过哪几种方式,目前这种器件的研究现状如何?未来发展前景如何?

问题二:

梁老师好!请问一下GaN/金刚石之间的室温键合强度如何?另外,既然后续还有高温热处理,为什么非要在室温下完成键合呢?

问题三:

金刚石和各种材料键合后,退火的目的是什么?高温退火后但没有引起界面开裂的原因是什么呢?

问题四:

梁老师好!请问一下GaN/金刚石之间的室温键合强度如何?另外,既然后续还有高温热处理,为什么非要在室温下完成键合呢?

问题五:

梁教授您好,请问金刚石氮化镓的界面的非晶碳层是在什么过程中产生的?以及可以进一步减小界面的非晶碳厚度吗?

问题六:

公众号上,在您最新的那篇文章中,键合的设备是哪个厂家的?

问题七

常规的热反射检测,在检测之前需在材料表面镀一层薄膜金属(如金、铝),会使得材料破坏,您报告中提到的无损检测,您方便详细介绍下吗?

问题八:

1、目前热物性检测技术可以做的分辨率达到多少,和传统检测方法的区别以及最大优势是什么

问题九:

金刚石作为激光器的晶体材料,相比于传统材料的好处在哪?

问题十:

金刚石激光器目前主要应用在哪些领域,有没有实际应用场景?

问题十一:

是什么机缘,使您开始这项研究?您是如何想到把金刚石应用到激光器方向吗?咱们团队是国内第一批研究团队吗?

问题十二:

金刚石布里渊激光器目前团队功率最大能够做到多少?

问题十三:

郭老师您好,金刚石和氮化稼键合后,热点不均匀原因?解决办法?

问题十四:

金刚石氮化镓键合之后,应力对材料电特性的影响程度,目前有评估吗?比如霍尔电特性?

问题十五:

郭老师,请问界面热阻目前有什么测试方法?

问题十六:

GaN器件散热目前产业上主流方案有哪些,成本分别大概是多少?

问题十七:

金刚石衬底的粗糙度是多少,主要是用什么方法加工

问题十八:

目前金刚石衬底能够做到多大

问题十九:

测量的时间分辨率如何?

问题二十:

量子精密测量目前主要的实际应用场景在哪?

问题二十一:

目前业界基于近场的测试技术主要是哪些?如何定点分析芯片内部的信号路径?微波毫米波芯片晶圆测试的优势在哪?

问题二十二:

金刚石微粉砂轮超精密磨削的特点、科研和产业存在的技术难题在哪?

问题二十三:

金刚石微粉砂轮的磨料粒度是越细越好吗?如何控制粒度大小?

问题二十四:

晶圆超精密抛光加工是我国卡脖子的环节之一,目前哪些方法效果比较好

问题二十五:

目前用金刚石颗粒制作的砂轮进行磨削达到表面质量的精度可以达到多少?粗糙度?

问题二十六:

面向半导体加工的ELID磨削对砂轮的材料成分和组织是否需要特殊设计?其导电性要求是什么样的?

问题二十七:

您认为国内超硬材料及制品面临的机遇与挑战是哪些?

问题二十八:

目前都在说我国超硬材料大而不强,您怎么看这个现象,如何改进?

问题二十九:

结合剂如何选择?难点在哪?

问题三十:

在纳米尺度下,金刚石能够发生的应变最大能够达到多少?是在特定的晶向取向才会发生吗?

问题三十一:

所有材料在纳米尺度下都有应变吗?

问题三十二:

弹性应变会对材料性能发生哪些影响?您方便相信介绍下吗

问题三十三:

金刚石刀片的失效形式主要有哪些

问题三十四:

金刚石刀片切削存在的短板在哪里

问题三十五:

用微波CVD制作涂层比较新颖,相比于热丝法,优势在哪?成本大致是多少?

问题三十六:

纳米聚晶金刚石刀片性能怎样

问题三十七:

金刚石涂层刀具,涂层与刀具间膜基结合力达到多少,如何增强结合力?

问题三十八:

涂层表面粗糙度是多少,如何降低涂层粗糙度?

……



 致 谢 


特别感谢出席本届CarbonWeek金刚石材料与器件&超精密加工论坛的10位特邀嘉宾,希望本次活动可以给行业提供一个交流与学习的平台。另外也非常感谢所有与会人员,直播间所有收入均用于公益捐赠,会后我们也会做成公示以及明细。


一年一度的Carbonweek碳“链”全球:一场公益的碳材料大会

Carbonweek2024,明年见~



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