半导体专用温控设备（Chiller）主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。半导体专用温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。依据不同工艺制程要求控制给定温度的循环液流经半导体工艺设备反应腔内的电极或其壁面，将热量带入半导体专用温控设备，半导体专用温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。温控设备可以应用于传统工业温控、数据中心温控、储能温控、新能源温控、手机热管理等领域。晶圆制造各环节对半导体专用温控设备均存在一定需求，受近年来中国晶圆制造产线的持续扩张，半导体专用温控设备市场需求持续高涨。

▌半导体专用温控装置行业发展总体概况

2022年全球半导体专用温控装置（Chiller）市场规模大约为6.6亿美元，预计2029年将达到9.68亿美元，2023-2029期间年复合增长率（CAGR）为5.86%。未来几年，本行业具有很大不确定性，本文的2023-2029年的预测数据是基于过去几年的历史发展、行业专家观点、以及本文分析师观点，综合给出的预测。

2022年中国占全球市场份额为22.6%，北美为11.4%，预计未来六年中国市场复合增长率为9.23%，并在2029年规模达到258百万美元，同期北美市场CAGR预计大约为4.67%。未来几年，亚太地区的重要市场地位将更加凸显，除中国外，日本、韩国、中国台湾和东南亚地区，也将扮演重要角色。生产层面，目前韩国是全球最大的半导体专用温控装置生产地区，占有大约35%的市场份额，之后是美国和日本，分别占有大约28.5%和22.6%的市场份额。目前全球市场，基本由美国、日本和韩国地区厂商主导，全球半导体专用温控装置头部厂商主要包括ATS、Shinwa Controls、友尼森、杰思特GST、SMC Corporation、FST (Fine Semitech Corp)、北京京仪自动化装备和Techist等，前五大厂商占有全球大约62%的市场份额。产品工艺方面来说，目前单通道和双通道Chiller占据主导地位，未来几年三通道Chiller预计增速更快。从冷却工艺来讲，市面上以液冷型Chiller为主（2022年份额超过80%），风冷型和混合型也占据一定市场份额，预计未来几年，液冷型Chiller依然占据主要份额。下游应用方面，目前主要是刻蚀流程，份额接近60%，之后是沉积、离子注入、涂布和显影、CMP等。

以上数据信息来源恒州博智调研机构出版的【2023-2029全球及中国半导体专用温控装置行业研究及十四五规划分析报告】完整版报告

本报告研究“十三五”期间全球及中国市场半导体专用温控装置的供给和需求情况，以及“十四五”期间行业发展预测。重点分析全球主要地区半导体专用温控装置的产能、销量、收入和增长潜力，历史数据2018-2022年，预测数据2023-2029年。本文同时着重分析半导体专用温控装置行业竞争格局，包括全球市场主要厂商竞争格局和中国本土市场主要厂商竞争格局，重点分析全球主要厂商半导体专用温控装置产能、销量、收入、价格和市场份额，全球半导体专用温控装置产地分布情况、中国半导体专用温控装置进出口情况以及行业并购情况等。

此外针对半导体专用温控装置行业产品分类、应用、行业政策、产业链、生产模式、销售模式、行业发展有利因素、不利因素和进入壁垒也做了详细分析。

详细内容请参考恒州博智完整版本报告，申请报告样本联系QYR，半导体专用温控装置行业报告研究通过对特定行业长期跟踪监测，分析行业需求端、供给端、经营特性、盈利能力、产业链和商业模式等方面的内容，整合行业、市场、企业、渠道、用户等多层面数据和信息资源，为客户提供深度的行业市场研究报告，全面客观的剖析当前行业发展的总体市场容量、竞争格局、细分数据、进出口及市场需求特征等，对行业重点企业进行深入调研，进行产销运营分析，并根据各行业的发展轨迹及实践经验，对行业未来的发展趋势做出客观预测。