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MEMS加速度计传感器--MAXL-OL-2015C

2022-07-18 09:58 作者:诺耕科技  | 我要投稿

MAXL-OL-2000C是一款可以用于多种应用的先进MEMS传感器,其精度已提升到更高标准,此系列中有多款产品,不同产品不同精度可以应用到不同领域,例如:MAXL-OL-2015C

MAXL-OL-2015C是一款低功耗、低噪音、高稳定性的MEMS加速度计。其接口简单,输出包括:与加速度成比例的差分模拟电压输出和用于热补偿的模拟温度-比例电压输出。加速度输出电压范围为±1.2 V。

MAXL-OL-2015C是一款性能强大的设备,量程高达±15g。工作电压为3.3V,工作电流小于13 mA。

特点

❖传感器量程 ±15 g

❖ 单轴感知

❖高分辨率

❖低功耗

❖体积小, LCC20封装

❖重量轻

❖符合ROHS标准

1. 加速计性能规格

2. 加速度计环境特性

3.绝对最大额定值

注:超过“绝对最大额定值”可能会对设备造成永久性损坏。这只是应力等级,并不意味着设备在这些条件下正常运行。长期处于最大额定值条件下可能会影响设备的可靠性。


MAXL-OL-2015C的封装为标准LCC外壳,共有20个引脚。图1给出了精确的尺寸。产品重量通常小于0.7克。图2为封装质心的信息。

注:LCC 的底部平面作为轴对准的参考平面。将传感器固定在 PCB 上的任何其他方式都可能会降低传感器的性能


MAXL-OL-2015C是一个完整的单轴加速度测量系统,测量范围为± 15 g.

MAXL-OL-2015C 加速度计的主要运行是通过电容感应测量加速度。梁之间悬挂着一个小质量块。当对传感器施加加速度时,质量块位置发生偏移,电极之间的电容会发生变化,从而导致读出电路的输出信号发生变化。

MAXL-OL-2015C传感器的完整测量链由低噪声放大器和模拟一阶低通滤波器组成,低噪声放大器将MEMS传感器的电容不平衡转换为模拟电压,模拟一阶低通滤波器负责降低高频噪声。传感器运行的简化视图如下图所示。

4.MAXL-OL-2015C针脚输出

5.引脚配置和功能说明

6. MAXL-OL-2015C 典型应用

为了使MAXL-OL-2015C 正常稳定运行,我们建议将加速计与下图所示的外部设备连接起来。

通电时,有一段初始化时间(约50毫秒),电流和输出电压可能出现峰值。正常工作电流稳定在13mA左右。

7. 电气特性

8. 输出信号调节

对于正确的数据采集, MAXL-OL-2015C  可以直接连接到负载阻抗 >800kΩ 的差分 ADC(模数转换器),例如可以使用 ADS126x Texas Instrument ADC。

另一种选择是在连接到 ADC 之前使用超低补偿、偏移和偏置电流运算放大器。

9 温度传感器

MAXL-OL-2015C 加速度计的温度传感器输出反映了传感器的结面温度,并为特性、校准和补偿供方便的温度测量。MAXL-OL-2015C 的校准在制造过程中完成,因此可以立即使用。温度传感器的输出电压根据以下公式得出:

V = K(B + T)

式中,K=比例因子,B=偏差,T=测量温度。

10. 数据表中使用的参数说明

偏差 [mg] - 当没有沿其输入轴施加外部加速度时,加速度计的输出。

比例因子 [mV/g] - 输出变化与沿输入轴的外部加速度变化之比为1g。

短期稳定性(Δ 偏差 [µg] 和 Δ 比例因子 [ppm] STD) – 在室温下运行1小时时,偏差和比例因子的STD。

长期稳定性(偏差 [mg] 和比例因子 [ppm]) 在以下环境条件运行的加速计偏差和比例因子:

-短期稳定性Short Term Stability

-低温储存 (-55°C)

-高温储存 (+85°C)

-上电重复性

-15 个温度循环

-耐久振动 (20 – 2000 Hz)

-冲击 (500g/0.25ms/6 个方向)

温度灵敏度(偏差[µg/⁰C] 和比例因子【ppm】/⁰C]) - 在-10°C - +60°C温度范围内偏差或比例因子变化率的最大值.

温度残差(偏差【mg】和比例因子【ppm】) – 应用三阶多项式补偿后,-10°C - +60°C温度范围内偏差或比例因子误差的标准偏差.

比例因子线性误差[输入加速度的百分比](2点拟合) 

加速度计输出基于0g和1g输出的线性拟合的最大偏差,全量程以输入加速度的百分比表示 .

比例因子线性误差[输入加速度的百分比] (IEEE method) - 加速度计输出0g 到最大加速度工作范围之间的最佳线性拟合的最大偏差。 偏差表示为满量程输出的百分比.

带宽 [Hz] - 频率响应增益高于-3dB的频率范围.

等效带宽噪声密度[µg/√Hz] -A准则,通过将传感器的输出RMS除以带宽的平方根来计算.

以上为MAXL-OL-2015C的介绍,如有疑问可随时与我们联系。

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