纳飞光电工业级皮秒激光器在掩膜版切割开孔的应用

掩膜版在工业的应用十分广泛，且品类繁多，有电极掩模板、不锈钢掩膜板、芯片掩模板、微孔掩膜板、光刻掩膜板等，在芯片生产厂家、IC制造商、高校实验室、科研院所等领域广泛应用。

在掩模板进行高质量开孔却不是一件容易的事，尤其是应用端对掩膜版的精度要求越来越高的情况下，常要求在薄金属板上或非金属板材上生成大量的微米级细微孔洞，甚至包括配套的掩膜板刻线的最小线宽往往精度也要求达到微米量级，常规的切割开孔方式显然已经不适合需求。

激光加工是激光产业的重要应用，利用高能量密度激光束与物质相互作用的特性对各种金属与非金属材料加工，与常规的机械加工相比，具有精度高、效率高、灵活性强的特点。针对掩膜版的应用需求，纳飞光电研发设计的1064nm工业级皮秒激光器，输出功率超过30W，小于10ps的脉宽，峰值功率高，稳定性非常好，出色的“冷”加工特性对加工材料不挑，优异的光束质量（M²＜1.3）也能应对高加工精度的要求。

“冷”加工热影响区小，加工品质好。皮秒激光器是利用激光光子直接破坏目标材料的结合键，这相对来说是一个“冷”加工的过程，对金属或非金属材料均适用，且几乎没有热影响区，加工过程干脆利落，无毛刺，切割开孔的边缘更加平滑，也不会产生重铸材料，无需后期二次处理，品质高。

加工精度高。高的光束质量（M²＜1.3）使得激光束聚焦后光斑直径非常小，可以达到微米量级，因此可以进行非常小的切割打孔作业，或者刻蚀，满足客户微小加工需求。

高速快捷。可立即通过PC端快速设计并输出图样，随后即可进行高速切割开孔，能量集中，切割开孔速度快，比刀模切割、线切割、化学腐蚀等方式的速度要快很多，同时该款激光器的脉冲稳定性和功率稳定性都非常高，小于1%RMS，高稳定性输出也提升加工效率。

效果一致性高。借助高精度的视觉定位等辅助光学部件，可以做到同一批次的加工效果一致，而且还不易受加工数量的限制，可进行小批量定制加工服务，无需其它的模具，灵活性非常的高。

此外，激光加工的采用非接触式加工，不会对材料产生机械挤压或机械应力等造成损坏或变形。