科学指南针-SEM测试EDS样品要求

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对sem测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

xps结果与EDS结果不符？

@指南针上海黄老师

每个被“科研”支配的毕业狗

大部分都有这样一个苦逼过程

那就是在实验室

日夜辛苦捣鼓

几天几个星期甚至几个月······

好不容易有了自己的第一个“孩子”（样品）

那么接下来肯定就是

各种装备（各类测试）配齐

证明她确实是按照

我给他规划的人生路线

茁壮成长（预期效果）

然鹅

有时候

现实总是那么让人上头

这不就有人来联系我们

为什么我的样品

明明XPS测出结果里有N元素

但是EDS里测出来N元素含量为0

首先

我们的N元素

因为原子序数比较低

特征X射线波长较短

信号从样品里面逸出时易被吸收

而且能谱还有检测限

如果元素含量很低

EDS也是可能检测不出来的哦

其次

EDS扫描范围

也没有准确值

影响因素很多

加速电压越高

样品密度越小

影响区越大

一般来说是在几十纳米到接近微米级

而实际测试时

也是根据大家提供的位置

选择两到三个点

最后结果只能是一个定性判断

如果大家是想得到

更为精确的元素含量

我们测试老师还是

建议大家选择XPS来表征哈

最后的最后

如果大家选择EDS

样品需要满足以下几点条件

A.在真空和电子束轰击下稳定不会分解

B.分析面平坦一般要求与电子束垂直

C.有良好的导电和电热性能无荷电现象

D.样品为均质材料无污染

因此大家制备样品时也需多加注意哦！

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