欢迎光临散文网 会员登陆 & 注册

氦质谱泄漏检测仪在气体管道工程中的应用-华尔升

2023-04-13 10:42 作者:华尔升智控  | 我要投稿

在气体管道工程中,特别是氢气管道工程中,由于施工装配等原因,管道之间的连接处会有一些肉眼差距不大的漏孔,导致泄漏和安全事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业输送超高纯电子气体的气体管道工程中,如果发生泄漏,将对生产安全产生很大影响,因此泄漏检测非常重要。

在工艺上,对纯度要求高的气体一般需要氦检,甚至气体管道的泄漏率每秒10*e-只有10CC才能送气,通常气体泄漏率要求为1.0*e-9cc.atm/sec以上。

一、气体管道密封氦检漏规定一般如下:

氦检漏仪应采用质谱氦检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbarr*l/s;

2、内向测漏法测定的特气系统泄漏率不得大于1*10-9mbarr*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbarr*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbarr*l/s。

二、特种气体管道氦检漏注意事项:

1、氦泄漏检测发现的泄漏点修复后,应重新进行气密性试验,合格后按规定进行氦泄漏检测。所有可能的泄漏点都用塑料袋隔离,系统试验结束后,应充满高纯氮气或氩气并吹扫,试验结束后,应提交试验报告。

2、氦泄漏检测的主要方法有:喷射法、吸入法、氦盖法和背压法。氦质谱泄漏检测仪具有操作简单、准确可靠、安全高效、成本低、应用广泛等特点,氦分子非常小,仅次于氢,可检测到非常小的泄漏点。

3、氦气管道检测也适用于氢气管道检测,采用氦质谱检漏仪正压法检测。具体检测方法:在无横风的情况下,密封氦气管道,留出检漏口,先抽真空,再充入0.1Mpa压力氦氮混合气体,氦氮比例为1:10.静置30分钟,待氦氮混合气体完全分布在管道中。用吸枪连接泄漏检测仪后,可检测连接口、焊缝等泄漏点。如果管道泄漏,氦将被吸枪吸入泄漏检测仪,超过氦检测仪的底值将自动报警。只有依次检查,直到整个管道检测完毕,才能找到所有泄漏点。

深圳华尔升智控技术有限公司是一家具有自主知识产权和持续创新能力,经营业绩稳定增长的高科技公司。公司拥有经验丰富的研究应用技术团队,稳健高效的运营团队和专业的销售队伍,主要成员均有着十多年的氦质谱检漏行业从业经验,有丰富的经验和技术实力。

氦质谱泄漏检测仪在气体管道工程中的应用-华尔升的评论 (共 条)

分享到微博请遵守国家法律