《炬丰科技-半导体工艺》集成电路制造过程

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：集成电路制造过程

编号：JFKJ-21-220

作者：炬丰科技

净化  

硅存在于石英岩中  

•仅次于氧的第二丰富元素 

•其他元素必须移除  

•将石英岩加热到2000⁰C，然后通过重新提纯  

化学过程  

硅现在是以棒状的形式被锯成晶圆  

晶圆制备

•晶圆被抛光，几乎像镜子一样

•最后的化学处理去除抛光材料

•晶圆片包装在超清洁设施中，并准备就绪

制造过程

半导体制造工厂

热氧化 略