SEM表征检测主要检测什么？

SEM表征检测主要检测什么？
SEM表征检测可应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。
SEM一般通过组合EDS使用，可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。
SEM可以做的测试项目很多，以下是一些常见的测试项目：
表面形貌观察：
SEM可以观察各种材料的表面形貌，如金属、陶瓷、聚合物、纤维和生物材料等。
微观结构分析：
SEM可以分析各种材料的微观结构，如晶体结构、晶粒尺寸、纤维结构等。
成分分析：
SEM可以用于分析材料的化学成分，如元素分析、化合物分析等。
表面化学性质测试：
SEM可以测试材料的表面化学性质，如表面活性、表面电荷等。
界面性质测试：
SEM可以测试材料的界面性质，如界面结构、界面能量等。
电子显微图像分析：
SEM可以分析电子显微图像，如线条、点、区域等特征，从而获得样品的形貌、大小、分布等信息。
微纳加工：
SEM可以进行微纳加工，如光刻、电子束曝光、离子束雕刻等，从而制造出各种微纳结构。
SEM广泛应用于物理学、化学、材料科学、生物学等多个领域，主要用于表面形貌和微观结构的观察、分析和测试。
在物理学中，SEM常用于研究微观结构和物质的性质，如电子输运、光电效应等。
在化学领域中，SEM可用于研究表面反应和材料结构的改变，如催化反应和化学吸附等。
在材料科学中，SEM可以用于研究材料的微观结构、形貌和组成，如金属、陶瓷、聚合物和生物材料等。
在生物学中，SEM可用于研究细胞结构、细菌、病毒和组织等微观生物结构的形态和组成。
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