XPS常见问题

        在测试过程中，铄思百检测小编整理了一些有关于XPS测试的常见问题，希望能帮到各位同学们！
        （一）当谱峰重叠时，要怎么处理？

        答：(a)如果是特征谱峰和俄歇谱峰发生重叠，建议更换X射线能量；

        (b)如果是比较元素含量，可以选择测试元素的其他谱峰：

        (c)进行解谱分析。

        （二）每种元素的特征谱峰一定吗？

        答：除了H、H和少量放射性元素以外，元素周期表中的大多数元素都有相应的XPS特征谱峰，而且XPS谱峰具有元素"指纹效应”，可以用于鉴定元素的成分。同时原子外层电子结构变化会导致XPS特征谱峰出现有规律的化学位移，所以XPS可以通过观测化学位移，提供与化学态、分子结构或官能团相关的信息。需要注意的是，物种中含有多种组分，可能会存在特征谱峰重叠的问题，所以在判断元素成分和化学态的时候，除了关注特征谱峰外，也需要观察相应元素其他谱峰。

        （三）为什么P、d、f轨道道都只会有两个裂分峰？

        答：这是由于电子自旋-轨道偶合效应导致的，根据总量子数j（j=IL+SI,S=±1/2)而使电子能级出现裂分。例如对于s轨道，j=1/2,对于p轨道，j=1/2和j=3/2。需要注意的是，对于p、d、f轨道的两个裂分峰的峰面积是存在固定的比例，如下图所示：

        （四）EDS探测深度比较深，不是表面的信息？

        答：是的。这是由于两个实验技术的原理不同所导致的，如下图所示：因为XPS检测是出射的光电子，光电子的非弹性平均自由程较小，所以提供的是表面信息；而EDS检测的是出射的特征X射线，而特征X射线的穿透能力可以达到微米，所以提供的是信息深度是微米级别的。这两种实验技术提供互补的信息，可以帮助我们深入了解样品性质。

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