特迪亚亨特利传感器240-7Kg
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电容传感器的灵敏度为
它说明了单位输入位移所引起输出电容相对变化的大小与d0呈反比关系.
如果考虑式(5 - 14)中的线性项与二次项, 则
由此可得出传感器的相对非线性误差δ为
由式(5 - 16)与式(5 - 18)可以看出: 要提高灵敏度, 应减小起始间隙d0, 但非线性误差却随着d0的减小而增大.
在实际应用中, 为了提高灵敏度, 减小非线性误差, 大都采用差动式结构.图5 - 8 是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图.
在差动式平板电容器中, 当动极板位移Δd时, 电容器C1的间隙d1变为d0-Δd, 电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则
C1=C0