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CMOS传感器:前照式 (FSI) vs. 背照式 (BSI)

2023-04-04 10:37 作者:浙桂半导体  | 我要投稿

从光的入射方向来看,CMOS传感器有“前照”与“背照”的区分。从字面理解,“前照”好比光直接照射到物体的正面,如图示里的“小黄”;“背照”好比光照射到物体的反面,如图示里的“小黑”。

图1:“小黄”与“小黑”

假定小黄与小黑相向而行,走在一条乡间小路上。一辆车的灯光打在小黄的脸上,同时也打在了小黑的背上。显然,小黄受到车灯对眼部的直接刺激,不利于继续行走;而小黑由于是背后受光,车灯照亮了前路同时不刺激眼部,前行会更为容易。

从生活化的场景回到CMOS传感器的角度,“前照式”、“背照式”又有什么区分呢?

首先,如图1所示,我们剖开前照式(FSI,全称front side illumination)的芯片,“取出”3个像元,放大到如图2所示的尺寸。背照式(BSI,全称back side illumination)的像元选取也类似。

图2:“取出”3个像元

在下述像元剖视图中,半球1代表透镜,绿色与红色区域2代表滤光层(绿色区域仅过滤保留绿光,红色区域同理),黄色区域3代表金属层。在前照式图中,蓝色区域4代表包含了像元层的半导体基板。在背照式图中,蓝色区域4代表包含了像元层的第一层半导体基板。需要指出的是,背照式的这层基板在后续工艺中被减薄至几个μm;为了保障传感器不易碎,需要如背照式蓝色区域5所示的第二块晶圆作为支撑基板。具体过程可参见本文最后的背照式生产工序流程图。

图3:像元剖视图(前照式 vs. 背照式)

注:邻近的像元本身也会发生“争斗”(串扰),我们将3个像元形象化地比喻为“爱争斗的三兄弟”——“Spike”、“Jerry”、“Tom”。

从图像传感器的发展史来看,前照式像元出现较早,结构从上至下依次为:微透镜→滤光片→金属层→像元(位于基板内部的上表面)→基板(此处特指像元下方的基板区域)。前照式最大的特点在于,受制于当时的工艺水平,金属层位于像元之上。因此,光线抵达像元进行成像之前,必须先经过金属层的“考验”。受到金属层的阻碍(光线反射等),相当一部分光线无法被有效利用,进而会限制图像成像效果。

随着工艺的改良,出现了背照式像元。其结构与前照式像元类似,从上至下依次为:微透镜→滤光片→像元(此处像元依托的基板已被极大减薄)→金属层→第二层支撑基板。不过,背照式最大的特点在于,金属层位于像元之下。这样光线可以直接抵达像元,改善了在低照度环境下的成像质量。另外,由于被放置在了底层,金属层获得了更为灵活与独立的空间,可以实现更多层的金属布线。

从前照式到背照式,看似只是内部器件顺序上的简单调整,其实更是工艺水平的革新。通过将像元置于金属层之上,意味着承载像元的基板要非常薄,约是前照式像元的1/100。依赖工艺的革新,背照式像元最终才得以实现(可以想见,背照式像元生产成本也相对较高)。

除了结构与成像效果上的差异,具体到生产工艺上,前照式与背照式也有不小区分。如图3所示,背照式的制作多出了“倒扣”“晶圆减薄”等环节,工艺要求更高的同时,制作成本也会比前照式高。同时,正是由于背照式工艺的进步,CIS(全称CMOS image sensor)的性能才得以大幅提升,最终替代CCD(全称charge coupled device)成为了图像传感器的主流。

图4:像元生产工艺(前照式 vs. 背照式)


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