钙钛矿太阳能电池制备成套方案

钙钛矿太阳能电池制备成套设备（一）
1、基片准备

FTO导电玻璃基底超声清洗+紫外臭氧清洗

2、电子传输层制备

旋涂+500℃退火制备二氧化钛致密层+二氧化钛介孔层

3、钙钛矿层制备

旋涂+105℃退火制备钙钛矿层

4、空穴传输层制备

旋涂spiro层

5、电极层制备

蒸发150nm金电极

6、封装+性能测试

钙钛矿太阳能电池制备成套设备（二）
1、基片准备

FTO导电玻璃基超声清洗+紫外臭氧清洗

2、电子传输层制备

喷涂+退火制备二氧化钛致密层+二氧化钛介孔层

3、制备钙钛矿层

涂覆500-2000nm钙钛矿层

4、制备空穴传输层

涂覆50-200nm空穴传输层

5、电极层制备

蒸发沉积150nm金电极层

6、封装+性能测试