加工快,纳飞光电工业级皮秒激光器在切割ITO导电玻璃的应用
导电玻璃有多种类型,其中ITO导电玻璃使用较多,它是以钠钙基或硅硼基为玻璃加工原片,采用射、蒸发等多种方法在玻璃表面镀上一层ITO(氧化铟锡)膜制作而成,厚度只有几千埃。由于氧化铟锡具有导电作用,因此只要给玻璃一个电源,整块玻璃便可通电,且氧化铟透过率高,具有高达90%的透光率,在等离子显示、硅太阳电池、调谐指示管等器件中作为玻璃电极使用,使用范围非常广泛。
ITO导电玻璃的生产和使用,需要高精度、高效率、高品质的切割。诚然,如今的刀轮切割和CNC研磨切割工艺成熟、稳定可靠,精度也大为提高,但还或多或少存在一定缺陷:一是切割过程产生碎屑、碎块和微裂痕,需要再进行一道CNC精磨;二是刀具易磨损,需不定时更换,增加耗材成本;三是传统切割工艺主攻直线切割,对于异形(倒角、R角)切割比较困难。

采用皮秒激光器切割ITO导电玻璃是一种易于控制的非接触式的无耗材解决方案。纳飞光电研发设计的1064nm工业级皮秒激光器,输出功率超过30W,脉宽<10ps,利用低热能扩散的特点,在热传导到周边材料前完成材料打断,在ITO导电玻璃切割中表现出良好的效果,因此10ps的激光器切割过程也可以称为“冷加工”。极窄的脉宽可以获得非常高的峰值功率,超过300uj的单脉冲能量,调整到匹配的切割参数后,在高速切割下能保证边缘整齐、垂直性佳和内损伤低的优势,不产生微裂纹、破碎或碎片问题,从而降低了制造成本。

它的脉冲稳定性(PPS)<1%RMS,功率稳定性<1%RMS,这样的高可靠性可保证持续、均匀的切割厚度和边缘质量。同时,优异的光束质量(M²<1.3),聚焦后的光斑直径在微米级别,这样的优势有二:一是可以进行高精度的切割,通过准确的定位即可进行非常切割,材料利用率高,不会造成材料损耗等,同时也意味着可以进行更加微小尺寸的切割,这是传统刀具切割所无法匹及的。
